点击：刘荣正等：流化床-化学气相沉积技术的应用及研究进展

摘要：流化床-化学气相沉积（FB-CVD）技术是一种多学科交叉的材料制备技术，兼有流化床传热传质性能良好以及化学气相沉积均匀、产物单一等优点，在工业生产中有着广泛的应用，但因其属于交叉学科，散见于各种研究，没有进行专门的进展评述。本文拟对FB-CVD的工业应用进行专题综述，分析其发展和研究趋势。首先探讨了FB-CVD的基本原理，分别综述了其在颗粒包覆、一维纳米材料、多晶硅制备、颗粒表面改性及粉体制备等方面的应用，介绍了FB-CVD的过程模拟及反应器结构优化方面的研究进展。通过以上讨论，梳理了FB-CVD研究的科学内涵。可以看出，该过程具有明显的多尺度特征，即材料制备的微观层次、颗粒流化均匀性的介观层次以及反应器结构设计的宏观尺度。总结得出：FB-CVD技术的未来发展取决于3个尺度的耦合分析，其研究重点也应关注尺度间的相互影响效应，如材料制备的均相成核、非均相成核和颗粒流化及运动规律的相互耦合等。

关键词：流化床-化学气相沉积；材料制备；过程分析；多尺度耦合

中图分类号：TQ 03-39      文献标志码：A      文章编号：1000–6613（2016）05–1263–10

DOI：10.16085/j.issn.1000-6613.2016.05.001