多晶硅生产中三氯氢硅精馏节能工艺
黄国强1，石秋玲1，王红星2
Energy saving technology research on the trichlorosilane distillation in polysilicon production
HUANG Guoqiang1，SHI Qiuling1，WANG Hongxing2
化工进展 . 2011, (12): 2601 . 

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