多晶硅生产中三氯氢硅精馏节能工艺
黄国强1，石秋玲1，王红星2
- 1天津大学化工学院，天津 3000072；2福州大学化学化工学院，福建 福州 350007
Energy saving technology research on the trichlorosilane distillation in polysilicon production
HUANG Guoqiang1，SHI Qiuling1，WANG Hongxing2
- 1College of Chemical Engineering，Tianjin University，Tianjin 300072，China；2 College of Chemical Engineering，Fuzhou University，Fuzhou 350007，Fujian，China
摘要：
简述了多晶硅行业概况和差压耦合蒸馏节能技术。详述了一种高纯三氯氢硅差压耦合精馏工艺，利用高压塔塔顶蒸汽作为低压塔塔釜再沸器热源，实现了能量的集成与过程优化。运用化工模拟软件PRO/Ⅱ8.1模拟了两塔高纯三氯氢硅差压耦合精馏工艺和三塔高纯三氯氢硅差压耦合精馏工艺的设计参数。结果显示，两塔耦合三氯氢硅一次收率为92.0%，理论节能50.1%；三塔耦合三氯氢硅一次收率为92.0%，理论节能66.7%，效果更好。该技术已成功实现工业化，可使精馏单元实际能耗平均降低40%～60%，同时大幅减少了设备投资。