分子吸收光谱在半导体薄膜化学气相沉积中的应用
汪文鹄, 左然, 刘鹏, 童玉珍, 张国义
Applications of molecular absorption spectrum on semiconductor CVD growth
WANG Wenhu, ZUO Ran, LIU Peng, TONG Yuzhen, ZHANG Guoyi
化工进展 . 2015, (11): 3979 -3984,4000 .  DOI: 10.16085/j.issn.1000-6613.2015.11.024

京ICP备12046843号-2；京公网安备 11010102001994号
版权所有 © 《化工进展》编辑部
地址：北京市东城区青年湖南街13号　邮编：100011
电子信箱：hgjz@cip.com.cn
本系统由北京玛格泰克科技发展有限公司设计开发　技术支持：support@magtech.com.cn