硅烷流化床制备粒状多晶硅的研究进展
田博, 黄国强
Research progress on preparation of granular polysilicon by fluidized-bed silane pyrolysis
TIAN Bo, HUANG Guoqiang
化工进展 . 2016, (11): 3392 -3399 .  DOI: 10.16085/j.issn.1000-6613.2016.11.002

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