多晶硅还原炉气相沉积反应数值模拟
王思懿, 许建良, 代正华, 武国义, 王辅臣
Numerical simulation of chemical vapor deposition in polycrystalline silicon reduction furnace
WANG Siyi, XU Jianliang, DAI Zhenghua, WU Guoyi, WANG Fuchen
化工进展 . 2025, (2): 706 -716 .  DOI: 10.16085/j.issn.1000-6613.2024-0296

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